东南大学微纳系统国际创新中心
微纳系统国际创新中心是无锡市人民政府与东南大学合作共建的重要研发平台，是产学研深度融合的重要科创载体。创新中心以东南大学集成电路科学与工程、电子科学与技术等学科为主要学科支撑，面向MEMS传感器、功率器件、先进封装、原子级制造与先进表征、柔性电子等领域的前沿研发需求，结合东南大学一流大学的发展目标，重点打造：
（1）先进技术创新基地，支撑无锡及周边集成电路、微电子等产业的产品研发和工艺验证; （2）人才培养实训基地，为集成电路、微电子、物联网等相关产业培养和输送多层次科技人才; （3）技术成果孵化基地，推进科研成果落地应用及产业化发展，助力科技自立自强。 |
创新中心占地面积约4300平米，包含建筑面积约16000平米的研发大楼及800平米的配套设施。中心大楼一、二层为净化实验室，拥有完整的8英寸硅基MEMS工艺研发线、6-8英寸功率器件工艺研发线，12 英寸芯粒集成（CHIPLET）核心工艺段，原子级制造与先进表征、柔性电子等研发功能区。创新中心三、四层为产业共建研发空间、IC学院基础实验室。创新中心拥有各类设备百余台套，其中核心工艺设备、测试设备技术指标处于国际先进水平，可为科学研究、人才培养、科技攻关、产业服务提供坚实保障。