微纳系统国际创新中心是无锡市人民政府与东南大学合作共建的重要研发平台,是产学研深度融合的重要科创载体。微纳平台以东南大学集成电路科学与工程、电子科学与技术等学科为主要学科支撑,面向集成电路、MEMS传感器、功率器件、Chiplet先进封装、柔性电子、原子制造与表征等领域的前沿研发需求,结合东南大学一流大学的发展目标,围绕所涉及领域的共性技术,重点(1)打造综合型产学研基地、为无锡集成电路、微电子等产业提供技术研发和工艺验证支撑,(2)打造教学、科研综合实训基地、为集成电路、微电子、物联网等相关产业培养和输送多层次科技人才,(3)桥接前沿研究和产业应用,推进研发、增强自主技术储备。

 微纳系统国际创新中心占地面积约4300平米,包含研发大楼(建筑面积约16000平)及配套设施(建筑面积约800平)。微纳大楼12层规为净化实验室,拥有8寸较完整的硅基MEMS工艺研发线,兼容6-8寸化合物半导体工艺;拥有12hybrid bonding Chiplet核心工序段;拥有柔性电子、先进测试分析等功能区。中心34层为半导体材料研发区和产业联合研发实验室。